集成电路应用杂志

摘要：阐述一种适用于离子注入机的多工位可调角度型低温靶台，实现对晶圆的固定、角度调整与冷却。经过实验证明，该系统能使晶圆温度在离子注入工艺全过程中始终保持在90℃以下，对比传统靶台，有效提高了冷却能力，确保加工工序正常稳定进行。

关键词： 离子注入;多工位可调角度型低温靶台;晶圆加工;

DOI： 10.19339/j.issn.1674-2583.2025.09.028

专辑： 信息科技

专题： 无线电电子学

分类号： TN405