集成电路应用杂志

摘要：阐述针对传统的12英寸半导体单晶炉长晶设备制造中面临的管理模式难以适应问题，为了降低单晶硅生产成本，提高单晶炉设备生产效率，实现生产过程精细化管控显得迫在眉睫。聚焦12英寸半导体单晶炉生产的智能化管理，提出基于数据处理与集控技术，构建长晶智慧工厂管理模式，以提升生产效率和保障设备质量。

关键词： 单晶炉;长晶智慧工厂管理平台;集中控制;

DOI： 10.19339/j.issn.1674-2583.2025.09.029

专辑： 信息科技

专题： 无线电电子学

分类号： TN304.12