集成电路应用杂志

摘要：阐述基于微机电技术制造的电容式加速度计设计，用于测量加速度或振动。利用遗传算法，设计了一种基于U型曲线的MEMS加速度计结构，对所设计的结构进行静力学分析。

关键词： 遗传算法;联合仿真;MEMS加速度计;U型曲线;

DOI： 10.19339/j.issn.1674-2583.2025.09.010

专辑： 信息科技;工程科技Ⅱ辑

专题： 仪器仪表工业;自动化技术

分类号： TH824.4;TP18